A fully planarized multilevel interconnection technology using selective TEOS-Ozone APCVD

M. Suzuki, Tetsuya Homma, H. Koga, T. Tanigawa, Y. Murao

研究成果: Conference contribution

フィンガープリント

「A fully planarized multilevel interconnection technology using selective TEOS-Ozone APCVD」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Physics & Astronomy

Engineering & Materials Science

Chemical Compounds