Adaptive control for piezo-actuated XY-table

Xinkai Chen, Makoto Hattori

研究成果: Conference contribution

フィンガープリント

「Adaptive control for piezo-actuated XY-table」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science