Adaptive high precision control for piezo-actuated nano-positioner

Toshikuni Ozaki, Xinkai Chen

研究成果: Conference contribution

フィンガープリント

「Adaptive high precision control for piezo-actuated nano-positioner」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Keyphrases

Engineering

Material Science