Anisotropic etching of dielectrics exposed by high intensity femtosecond pulses

Saulius Juodkazis, Yuusuke Tabuchi, Takahiro Ebisui, Shigeki Matsuo, Hiroaki Misawa

研究成果: Conference article査読

9 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Anisotropic etching of dielectrics exposed by high intensity femtosecond pulses」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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