Degradation of electromigration lifetime of Cu/Low-k interconnects by postannealing

Yumi Kakuhara, Kazuyoshi Ueno

研究成果: Article査読

2 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Degradation of electromigration lifetime of Cu/Low-k interconnects by postannealing」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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