Development of maskless electron-beam lithography using nc-Si electron-emitter array

A. Kojima, N. Ikegami, T. Yoshida, H. Miyaguchi, M. Muroyama, H. Nishino, S. Yoshida, M. Sugata, S. Cakir, H. Ohyi, N. Koshida, M. Esashi

研究成果: Conference contribution

4 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Development of maskless electron-beam lithography using nc-Si electron-emitter array」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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Chemical Compounds