| 本文言語 | English |
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| ジャーナル | Default journal |
| 出版ステータス | Published - 2004 5月 1 |
Direct patterning of nanostructures by electron beam induced deposition with a sub-nanometer probe
K. Furuya, K. Mitsuishi, M. Shimojo, M. Song, M. Tanaka, M. Takeguchi
研究成果: Article › 査読