抄録
Electron beam induced deposition (EBID) is one of the promising techniques for fabrication of nanometer-sized structures with desired shapes at desired positions. Constitution of the nanostructures formed by EBID can be controlled by choosing the type of precursor element. This chapter describes the recent progress of fabrication of magnetic nanostructures using EBID.
| 本文言語 | English |
|---|---|
| ホスト出版物のタイトル | Nanomagnetism and Spintronics |
| ホスト出版物のサブタイトル | Fabrication, Materials, Characterization and Applications |
| 出版社 | World Scientific Publishing Co. |
| ページ | 45-61 |
| ページ数 | 17 |
| ISBN（電子版） | 9789814273060 |
| ISBN（印刷版） | 9789814273053 |
| DOI | |
| 出版ステータス | Published - 2010 1月 1 |
| 外部発表 | はい |
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