Fabrication of silica-based three-dimensional structures by changing fluence using proton beam writing

R. Tsuchiya, *H. Nishikawa

研究成果: Article査読

本文言語English
ページ(範囲)325-328
ジャーナルTransactions of the Materials Research Society of Japan
36
出版ステータスPublished - 2011 9月 1

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