High precision adaptive control for XY-table driven by piezo-actuator

研究成果: Conference contribution

2 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「High precision adaptive control for XY-table driven by piezo-actuator」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science