Influence of oxygen transfer in Hf-based high-k dielectrics on flatband voltage shift

Toshihide Nabatame, Masayuki Kimura, Hiroyuki Yamada, Akihiko Ohi, Tomoji Ohishi, Toyohiro Chikyow

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フィンガープリント

「Influence of oxygen transfer in Hf-based high-k dielectrics on flatband voltage shift」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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