| 本文言語 | English |
|---|---|
| ジャーナル | 2004 MRS Spring Meeting |
| 出版ステータス | Published - 2004 4月 1 |
IR Absorption Study of HfO2 and HfO2/Si Interface Ranging from 200cm-1 to 2000cm-1
K. Tomida, H. Shimizu, K. Kita, K. Kyuno, A. Toriumi
研究成果: Article › 査読
K. Tomida, H. Shimizu, K. Kita, K. Kyuno, A. Toriumi
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| 本文言語 | English |
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| ジャーナル | 2004 MRS Spring Meeting |
| 出版ステータス | Published - 2004 4月 1 |