Microscopy of Si(001) surface defects produced by keV He ion irradiation at low temperatures

K.Kyuno K.Kyuno, D.G.Cahill D.G.Cahill, R.S.Averback R.S.Averback, J.Tarus J.Tarus, K.Nordlund K.Nordlund, Kentaro Kyuno

研究成果: Article査読

本文言語English
ジャーナルAmerican Vacuum Society
出版ステータスPublished - 1999 10月 1

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