Physical simulation and visualization of the Marangoni convection inside meniscus region under IPA vapor in wafer drying process

N. Ono, T. Yamada, S. Miura, T. Ishibashi, H. Matsuo, K. Watanabe

研究成果: Conference contribution

フィンガープリント

「Physical simulation and visualization of the Marangoni convection inside meniscus region under IPA vapor in wafer drying process」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Engineering & Materials Science