本文言語 | English |
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ジャーナル | Default journal |
出版ステータス | Published - 2005 10月 1 |
Position and size controlled fabrication of nm-sized structures with intense focused electron beam
K. Furuya, M. Shimojo, K. Mitsuishi, M. Takeguchi, M. Tanaka, M. Song
研究成果: Article › 査読