| 本文言語 | English |
|---|---|
| ページ（範囲） | 5517-5521 |
| ジャーナル | Jpn. J. Appl. Phys |
| 巻 | 45 |
| 出版ステータス | Published - 2006 1月 1 |
Proximity effect in electron beam-induced deposition
K. Mitsuishi, M. Shimojo, M. Takeguchi, M. Tanaka, K. Furuya
研究成果: Article › 査読
10
被引用数
(Scopus)