| 本文言語 | English |
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| ジャーナル | Abstract of Advanced Metallization Conference in 1998 |
| 出版ステータス | Published - 1998 10月 6 |
Seed effect on self-annealing of electroplated copper films
K.Ueno K.Ueno, T.Ritzdorf T.Ritzdorf, S.Grace S.Grace, Kazuyoshi Ueno
研究成果: Article › 査読