Selective oxidation and successive wet etching for freestanding structure of magneto-optic waveguide

H. Yokoi, Y. Shoji, T. Mizumoto

研究成果: Conference contribution

抄録

A magneto-optic waveguide with a semiconductor guiding layer was studied for an optical isolator employing a nonreciprocal phase shift. Freestanding structure of the waveguide was obtained by selective oxidation and successive wet etching.

本文言語English
ホスト出版物のタイトル2003 IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS
出版社Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.
ページ75-76
ページ数2
ISBN(電子版)078037830X, 9780780378308
DOI
出版ステータスPublished - 2003
外部発表はい
イベント2003 IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS - Waikoloa, United States
継続期間: 2003 8月 182003 8月 21

出版物シリーズ

名前2003 IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS

Other

Other2003 IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS
国/地域United States
CityWaikoloa
Period03/8/1803/8/21

ASJC Scopus subject areas

  • 工学一般

フィンガープリント

「Selective oxidation and successive wet etching for freestanding structure of magneto-optic waveguide」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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