Thermal Analysis of the Double-Crucible Method in Continuous Silicon Czochralski Processing

Naoki Ono, Michio Kida, Yoshiaki Arai, Kensho Sahira

研究成果: Article査読

6 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント

「Thermal Analysis of the Double-Crucible Method in Continuous Silicon Czochralski Processing」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Chemical Compounds

Engineering & Materials Science