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Tribological properties of physical vapor deposited ZrN thin films
Atsushi Mitsuo, Tatsuhiko Aizawa
材料工学専攻
研究成果
:
Conference contribution
概要
フィンガープリント
フィンガープリント
「Tribological properties of physical vapor deposited ZrN thin films」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。
並べ替え順
重み付け
アルファベット順
Engineering & Materials Science
Thin films
100%
Vapors
94%
Zirconium
38%
Ions
27%
Ion beam assisted deposition
26%
Hardness
23%
Ion beams
21%
Chlorine
18%
X ray photoelectron spectroscopy
18%
Nitrides
18%
Nanoindentation
18%
Irradiation
15%
X ray diffraction
14%
Nitrogen
14%
Silicon
11%
Wear of materials
11%
Substrates
10%
Friction
10%
Steel
8%