Ultra-low resistance Cu vias

研究成果: Article › 査読

本文言語	English
ジャーナル	Ａｄｖａｎｃｅｄ　Ｍｅｔａｌｌｉｚａｔｉｏｎ　for ULSI Applications in 1998,Tutorial,Future Research Seminar
出版ステータス	Published - 1998 10月 5

引用スタイル

TY - JOUR

T1 - Ultra-low resistance Cu vias

AU - K.Ueno, K.Ueno

AU - Ueno, Kazuyoshi

PY - 1998/10/5

Y1 - 1998/10/5

M3 - Article

JO - Ａｄｖａｎｃｅｄ　Ｍｅｔａｌｌｉｚａｔｉｏｎ　for ULSI Applications in 1998,Tutorial,Future Research Seminar

JF - Ａｄｖａｎｃｅｄ　Ｍｅｔａｌｌｉｚａｔｉｏｎ　for ULSI Applications in 1998,Tutorial,Future Research Seminar

ER -