本文言語 | English |
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ジャーナル | 2021 IEEE International Interconnect Technology Conference, IITC 2021 |
DOI | |
出版ステータス | Published - 2021 7月 6 |
イベント | 24th Annual IEEE International Interconnect Technology Conference, IITC 2021 - Virtual, Kyoto, Japan 継続期間: 2021 7月 6 → 2021 7月 9 |
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- ハードウェアとアーキテクチャ
- 電子工学および電気工学
- 電子材料、光学材料、および磁性材料
- 表面、皮膜および薄膜